真空热处理即真空技术与热处理结合的综合技术，是指热处理工艺的全部和部分是在真空状态下进行的，它与传统热处理相比较具有以下优点。

1.工件变形小。被处理的工件在炉内靠热辐射加热，内外温差较小，热应力小，因而决定了真空热处理工艺处理的零件变形小，同时在真空下加热和在真空下淬火，自动完成，避免了热态下工件在空气中的搬运，减少了人为加工变形，提高了产品合格率。

2.提高整体机械性能、脱气和促进金属表面的净化作用。真空对液态金属有除气作用，对固态金属中溶解的气体也有很好的排除作用。金属中有害的气体是氢。采用真空加热时，可使金属和合金中的氢迅速减低程度，从而提高材料的塑性、韧性和疲劳强度，提高了工件的整体机械性能。

3.可减少工件含金元素挥发性。真空热处理能在可控气氛下加热和真空淬火，从而减少了工件含金元素挥发性，保证了工件的热处理质量。

4.不氧化、不脱碳、不增碳对工件内部和表面有良好的的保护作用。氧化使金属表面失去光泽，表面粗糙度增加，精度下降，并且钢表面氧化皮往往是造成淬火软点和淬火开裂的根源，其他力学性能下降。一般情况下，钢的氧化脱碳同时进行，脱碳层由于被氧化，淬火硬度、耐磨性、及疲劳性能，高速钢脱碳会下降。而真空热处理由于金属是在一定的真空度下加热，工件避免了与氧气接触，工件没有氧化，无脱碳，可以得到光亮的表面及较好的热处理质量，同时在真空状态下，也不会发生还原反应，也就不会发生增碳的现象。

5.真空热处理炉热效率高，可实现快速升温和降温，稳定性和重复性好。工作环境好，没有污染和公害。